|
|
|
|||||
真空泵型號(hào)
|
GLD-N051
|
GLD-N136
|
GLD-N201
|
GLD-N280
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PVD-N180
|
PVD-N180-1
|
PVD-N360
|
抽氣速度(L/min)
|
60
|
162
|
240
|
336
|
150
|
150
|
310
|
極限真空(Pa)
|
<6.7×10-2
|
||||||
電機(jī)功率(KW)
|
0.2
|
0.4
|
0.5
|
0.75
|
0.4
|
0.4
|
0.75
|
真空泵型號(hào)
|
PVD-N360-1
|
VDN301
|
VDN401
|
VDN601
|
VDN901
|
VSN1501
|
VSN2401
|
抽氣速度(L/min)
|
310
|
500(30m³/h)
|
670(30m³/h)
|
1000(60m³/h)
|
1500(90m³/h)
|
2500(150m³/h)
|
4000(240m³/h)
|
極限真空(mbar)
|
<6.7×10-2
|
<6.7×10-1
|
|||||
電機(jī)功率(KW)
|
0.75
|
1.1
|
1.5
|
2.2
|
3.7
|