精度標準
1.　反復定位精度
對任意一點在相同方向反復進行7次定位測定。該測定是在移動距離的中點及靠近兩端的位置分別進行測定，在求出的值中以最大值為測定值，在該值的1/2前加上±號作為反復定位精度。
2.　定位精度
以有效行程為基準長度，計算從行程開始位置實際移動的距離與指令值之間的最大誤差，以該值的值作為定位精度。
3.　直線度
指本應直線移動的工作臺偏離理想直線的程度。
4.　平行度
指工作臺相對于工作臺安裝面（基準面）移動的平行程度。
5.　俯仰
指工作臺在移動過程中，相對于行進方向的前后傾斜程度，以角度表示。
6.　偏轉
指工作臺在移動過程中，相對于行進方向的左右傾斜程度，以角度表示。
7.　旋轉
指工作臺在移動過程中，相對于行進方向的旋轉程度，以角度表示。
8.　空程
指對某一位置在兩個方向（前進和返回）進行定位時的再現性。
精度＝1/7（t1+t2+????t7）–1/7（t1’+t2’+????t7’）
9.　無效行程
使工作臺作進給，以稍有移動時的數值為基準。從該狀態開始，不通過進給裝置，而是在工作臺上施加同方向的恒定負荷，以開放時的讀數與基準的差作為無效行程。
10.　垂直度
指正交的2軸中，本應垂直移動的工作臺偏離理想直角的程度。
精度＝δ2 （不考慮直線度時）
精度＝δ1+δ3 （考慮直線度時）
11.　滯后現象
指前進路徑和返回路徑的直線度、定位精度等不同時的最大差。