往復式真空泵（又稱活塞式真空泵）是干式真空泵；它是依靠汽缸內的活塞作往復運動來吸入和排出氣體的。

　　往復式真空泵的結構及減壓原理往復式真空泵的結構和作用原理，與往復式壓縮機基本相同。它們都是將低壓氣體經過壓縮而提高壓強。不同之處在于，前者是從容器中抽出稀薄氣體，并將其壓縮到一個大氣壓以上后再排出去，而后者，則是將常壓的氣體壓縮到更高的壓強后排出去。

　　此外，它們在配氣機構，即進氣閥和排氣閥結構方面也有區別，往復式壓縮機巾，一般采用彈簧閥，而往復式真空泵中，則多采用滑閥式配氣機構。往復式真空泵的壓縮比很高，例如要達到95%的真空度時，其極限壓力為5kPa，而排氣壓力為Il2kPa，則其壓縮比為22:所以，余隙中殘留氣體時，對真空泵的生產能力會產生非常大的影響。