一、 概述：

參照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》，采集高精密集成電路恒流源系統(tǒng)，提供便捷的操作模式，便攜式外形結(jié)構(gòu)，可充電式電源系統(tǒng)，中英文語言版本.

二、 功能介紹：

便攜式外形結(jié)構(gòu)更加適用于車間生產(chǎn)、品管抽檢，外出攜帶測量等要求快速便捷測量的場所；也適用于中小型半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè).具有高性價(jià)比優(yōu)勢(shì).

液晶顯示，顯示方阻、電阻率、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度，樣品厚度單位從米到納米均可輸入，自動(dòng)測量、質(zhì)量輕便，操作簡便； 

三、適用范圍：

廣泛用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料

硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻  半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率  導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等.

四、技術(shù)參數(shù)資料