采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能等離子與介質發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態介質的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程是污染介質處于活化狀態。污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫離。當離子平均能量超過污染介質中化學鏈結合能時，分子鏈段裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能由污染介質成分決定發生的各類化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質濃度及共存的介質成分。
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