HORIBA反應(yīng)器REACTOR V
HORIBA通過遍布全球的運營公司,提供面向多個行業(yè)的廣泛的儀器和系統(tǒng),其中包括汽車研發(fā)、過程和環(huán)境監(jiān)測、體外醫(yī)療診斷、半導(dǎo)體生產(chǎn)與計量以及多種科學(xué)研發(fā)與質(zhì)控測量。HORIBA出類拔萃的質(zhì)量和值得信賴的性能,贏得了客戶的廣泛的信賴。
我們在“新奇 有趣”這個別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下,通過提供科學(xué)進步所需的產(chǎn)品,履行我們的社會責(zé)任——尤其是在保護健康、安全和環(huán)境方面。遍布全球每個角落的“HORIBA人”,期待著與您合作,為您提供滿足需求的最佳分析解決方案。
HORIBA提供多種自動注入裝置,安全、可靠的傳輸液體到任何端點。針對半導(dǎo)體工藝挑剔的要求,HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料,以達到高性能的表現(xiàn)效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對光刻、擴散工藝中用到的強腐蝕性材料,F(xiàn)DM系統(tǒng)選用抗腐蝕非金屬材料,保證工藝系統(tǒng)的壽命及安全。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進的溫度補償鼓泡裝置裝置VM系列。
HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎(FDM系列),此獎項表彰于HORIBA在擴散工藝中成功開發(fā)了POCL3自動傳輸系統(tǒng),實現(xiàn)POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內(nèi)。
FDM和VM系統(tǒng)適用于硅基電池片的擴散制程,同樣可以用于BBr3的擴散制程,減少運輸和人力成本,提高安全性。
規(guī)格
1.提高產(chǎn)能
VM系列(汽化傳輸系統(tǒng))無需使用傳統(tǒng)的石英鼓泡器更換,實現(xiàn)最小化停機時間,有效提供產(chǎn)能。
2.減少運營成本
FDM系列可減少POCL3消耗:每公斤可降低30%的價格
依賴于持續(xù)工作,實現(xiàn)超過99.8%的正常運營時間
減少POCL3浪費
更長的壽命,更低的維護成本,系統(tǒng)內(nèi)部工藝流程無需暴露于周圍環(huán)境
3.提高工藝穩(wěn)定
VM系列始終將液位保持”High”狀態(tài),使整個工藝流程相比較石英鼓泡系統(tǒng)更為穩(wěn)定
由于鼓泡裝置的持續(xù)注入,液位將不會受到影響
無鼓泡裝置需更換,避免操作失誤
無環(huán)境溫度的影響
薄層電阻相較于傳統(tǒng)鼓泡裝置更為穩(wěn)定,再現(xiàn)性更出色
4.提升安全性
無石英材料。VM系列將由PFD材質(zhì)構(gòu)建。相較于石英材料,PFD更為堅固,無需替換
無需定期更換parts,減少人工操作失誤
POCL3將從20L的不銹鋼瓶傳輸控制至PFA管路
堅固、無泄漏的鼓泡外殼與廠務(wù)端鏈接排氣
集成液體泄漏,氣體泄漏監(jiān)測裝置
濕線清理與泄漏自動監(jiān)測
5.提高可靠性
POCL3是一款親水性強可產(chǎn)生磷酸導(dǎo)致腐蝕或結(jié)晶的液體。常規(guī)的鼓泡系統(tǒng)需要定期更換會導(dǎo)致提升與空氣接觸的可能性。HORIBA POCL3的自動注入系統(tǒng)不需要定期更換鼓泡系統(tǒng),有效降低了POCL3管道與空氣接觸的可能性。
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【商家簡介】上海胤旭機電設(shè)備有限公司簡介上海胤旭機電設(shè)備有限公司專營進口機電、控制類產(chǎn)品的企業(yè)。在德國、美國設(shè)有采購中心,主要從事儀器儀表、過程控制、電氣傳動等工廠自動化方面的工程項目設(shè)計、軟件編程、設(shè)備成套與供貨、技術(shù)服務(wù)及人員培訓(xùn)。目前公司的產(chǎn)品與服務(wù)廣泛應(yīng)用于鋼鐵、冶金、能源、石化、礦山、港口、軌道交通等眾多行業(yè)。經(jīng)過客戶支持及全體員工不懈努力,公司與眾多國際著名的機電行業(yè)一線品牌及上千余家專業(yè)廠商密切合作,形成了一個穩(wěn)定而高效的全球化國際供應(yīng)鏈體系,竭盡全力為客戶提供價格,貨期等最佳服務(wù)。公司堅持不...