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50A型SERIES
概要：
MT-50A系列質量流量計/控制器由質量流量傳感器，
分流器通道，流量控制調節閥和放大控制電路等部
件組成。
本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細
管壁溫度分布的熱傳導分布效應爾制成
采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流
量，可以不受溫度壓力的影響，將傳感器測得得流
量信號進行放大，然后與設定的電壓值進行比較，
用所得的差值信號去驅動控制調節閥門，閉環控制
流過通道的流量使之與設定的流量相等。
●標準
本公司產品采用中華人民共和國電子行業標準
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MT-50A |
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－ |
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－ |
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－ |
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型式 |
A |
模擬式 |
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B |
數字式 |
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功能 |
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M |
流量計 |
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C |
流量控制器 |
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流量范圍 |
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ABC |
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氣體種類 |
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013 |
N2 |
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008 |
Air |
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015 |
O2 |
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004 |
Ar |
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025 |
CO2 |
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001 |
He |
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FFF |
其他 |
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接頭 |
1/4”VCR |
1 |
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1/2”VCR |
2 |
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3”SWL |
3 |
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6”SWL |
4 |
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其他 |
F |
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訊號 |
DC 0~5V |
1 |
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其他 |
2 |
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電源 |
24V |
1 |
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SJ/T10583-94 以及SJ37 所規定的通用技術條 產品尺寸182×40×125mm
件和命名方法。
質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。 型號選型
質量流量的單位規定為：SCCM(標準毫升/分)
SLM(標準升/分)
標準狀態規定為：溫度--273.15K( 0℃ )
氣壓--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):滿量程值
特點：
MT-50A系列可應用在30SLM-200SLM的氣體流量范圍
并且不會受到溫度及壓力變化的影響，應用范圍廣
●模擬式質量流量計/控制器
·低單價 ·環境溫度補正 ·可應用流量范圍廣
·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
·0-1, 3 , 5 , 10, 20 , 30,100,200SLM
●高精度
·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）
●小體積
●可選用MT-1A流量顯示儀或MT-1B流量積算儀配
套使用。
●輸入，輸出，供電
·輸入設定電壓…………4-20mA
·輸出電壓檢測…………4-20mA
●基本參數
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功能 |
流量計/控制器 |
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基本型號 |
MT-50A |
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滿量程流量范圍(N2) |
SCCM |
0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
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SLM |
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,100,200 |
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精度(％F.S) |
±1(≤15SLM) |
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±2(＞15SLM.) |
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控制閥動作型式 |
常閉式 |
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線性(％F.S.) |
±0.5～1(≤15SLM) |
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±2％(＞15SLM.) |
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重復精度(％F.S.) |
±0.2 |
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響應時間(sec) |
≤3 |
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流量輸出信號 |
4-20mA |
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流量設定信號 |
4-20mA |
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電器接頭 |
DB15 pin(接頭) |
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工作環境溫度 |
(℃) |
5～45 |
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工作壓差 |
(MPa) |
0.1～0.3 |
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漏率 |
SCCSHe |
1×10-9 |
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最大耐壓 |
3MPa |
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介質接觸材質 |
304，316，316L |
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密封材料 |
氟橡膠，硅橡膠，聚四氟乙烯 |
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接頭 |
VCR " 1/4、1/2 |
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Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
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接頭和尺寸 |
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm |
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電源要求 |
+15V,50mA;-15V,200mA |
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重量 |
0.75KG |
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