· 清潔用的化學(xué)液
Novec ™ 7200的沸點(diǎn)為76°C,其溶解力適用于氣相去污、濕式清潔和晶圓傳送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的凈化。此化學(xué)液能的低表面張力,可清潔輕型的臟污,像是微顆粒物質(zhì)、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶劑搭配,用于清潔重臟污。 Novec ™ 7200不會(huì)破壞臭氧層(ODP值=零),且全球暖化潛值低 (GWP=55),大氣存留時(shí)間短(ALT=0.77年)。且不被列為揮發(fā)性有機(jī)化合物(volatile organic compound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美國(guó)環(huán)境保護(hù)局認(rèn)同的顯著新替代方案(U.S. EPA's Significant New Alternatives Policy (SNAP) program)。
· 沉積用的溶劑
Novec ™ 7200其低黏稠度及低表面張力的特性,提供了此化學(xué)液高潤(rùn)濕性與易流動(dòng)的性能,其產(chǎn)品表現(xiàn)與PF-5060DL很類似。能有效的分解全氟聚醚(PFPE)潤(rùn)滑劑。 Novec ™ 7200 無(wú)毒性,不會(huì)破壞臭氧層(ODP值=零),且全球暖化潛值低 (GWP=55),大氣存留時(shí)間短(ALT=0.77年)。 Novec ™ 7200具有較高的沸點(diǎn)(76°C),可減少在氣相去污中,蒸氣的損失。較低密度可減少在潤(rùn)滑機(jī)臺(tái)上容積固定時(shí)的添加量。
· 熱傳導(dǎo)的化學(xué)液
Novec ™ 7200的液態(tài)范圍很寛廣,溫度從 -138°C到76°C,可廣泛的適用于一般的工業(yè)。特別適用于熱傳導(dǎo)的制程。 Novec ™ 7200毒性低,不會(huì)破壞臭氧層(ODP值=零),且全球暖化潛值低 (GWP=55 ),大氣存留時(shí)間短(ALT=0.77年)。比 PFC 更環(huán)保。
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