低溫等離子提升化學氣相沉積PECVD

低溫等離子提升化學氣相沉積要在化學氣相沉積中，激起氣體，使之導致低溫等離子體，提升體現化合物的分析化學魅力，從而進行外延性性的一種方法。該方法可在較低工作溫度下造成固體膜。比如說在一個體現屋子里將基體原料置放負級上，進到體現氣體至較低氣壓(1～600Pa)，基體保持一定工作溫度，以一種方式導致電弧放電，基體表面附近氣體水解反應，體現氣體得到活力，此外基體表面導致負級射頻濺射，從而提高了表面魅力。在表面上不僅存在著一般的熱化學反應，還存在著復雜的低溫等離子化學反應。沉積膜要在這幾種化學反應的一同作用下造成的。激起電弧放電的方法實際有：頻射激起，直流高壓電源激起，脈沖激起和微波爐加熱激起。

低溫等離子提升化學氣相沉積的主要優點是沉積溫度低，對基體的結構和物理特性傷害小；膜的厚薄及成分均勻性好；膜組織密度高的、針孔少；膜層的粘合力強；應用覆蓋范圍廣，可制得各式各樣微濾、無機膜和有機膜。