單級
·SS次級變量
重熔或超合金
建設
•清潔、組裝和
高純度包裝
半導體的應用
•表面光潔度
15 RA最大值/ 10 RA平均值
（10, 7和5 RA最大選項）
•真空3500 psig
（241巴）進氣道
人力資源部選擇4500 psig
（310巴）
•流量標準為
30 SLPM（1立方英尺）
高頻選項120 SLPM（4立方英尺）
•旋鈕LOTO
（參閱美聯社KL數據表）
•安裝和操作
說明可在
www.aptech-online.com
在技術簡介部分
APTECH閥操作參數
源真空壓力為3500 psig（241條）
人力資源選擇真空4500 psig（310條）
輸送壓力AP 1502 1至30 psig（0.07至2條）
AP 1506 2至60 psig（0.14至4條）
AP 1510 2至100 psig（0.14至7條）
工作壓力驗證壓力150%
工作壓力爆破壓力300%
APTECH閥其他參數
進/出口連接器1/4或3/8英寸面密封或管焊接
閥蓋端口1/8英寸s
流量系數（CV）0.09（0.15 HF選項）
內部容積0.51立方英寸（8.4厘米）
工作溫度- 40°至160°F（- 40°至71°C）*
表面光潔度15µRA最大/ 10µ在。RA的平均。
（0.4/0.25µ米）標準；10µ在（0.25µm）；
7µ在（0.18µM）；和5µ在（0.13µm）RA最大可選
Inboard leakage 2 x 10-10 sccs
外漏2×10-9，他
漏過座4×10-8 SCCS他
安裝面或面板（可選）
供應壓力的影響，每100到0.25 psig的氣源壓力變化
HF 0.75 psig每100 psig
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