產品描述
PKWL60-080U是一款超緊湊的亞納米閉環控制掃描臺,顯微鏡中的物鏡對準通常需要一個開放的中心空間(例如,用于光線通過),PKWL60-080U壓電掃描臺(帶有25mm的中心孔)是針對此類應用而開發的,每個軸都經過機械預加載。獨特的產品設計非常緊湊,在XZ運動軸上的運動均可達80µm(閉環)行程,并且由于柔性機械設計而實現了無間隙的平行運動。其緊湊的設計使其是許多應用的理想工具,例如:光纖對準、雙光子聚合和激光寫入應用等。
可以選擇使用集成的SGS測量系統來克服遲滯的影響,并且PKWL60-080U定位系統可以配備電容測量系統,PKWL60-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統結合使用。擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。
PKWL60-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統的各種應用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應用。
本系列產品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統版本。請參照相關型號介紹。
產品特性
—XZ位移:80μm(閉環)
—中孔尺寸:Ø25mm
—承載能力:0.7Kg
—高度緊湊型設計
—高精度柔性鉸鏈結構導向
選配功能
—可定制轉接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(SGS) 位置反饋系
—可選擇XYZ軸版本(80μm)
應用領域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術
【商家簡介】上海納動納米位移技術有限公司(簡稱納動納米、NanoMotions),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的高新技術企業,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等高端設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著創新引領,立足高端,精益打造納米定位與運動控制中國制...
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