產(chǎn)品描述
PK3L80-080U是一款超緊湊的亞納米閉環(huán)控制掃描臺,每個軸都經(jīng)過機械預加載。獨特的產(chǎn)品設計非常緊湊,在XYZ運動軸上的運動均可達80µm(閉環(huán))行程,并且由于柔性機械設計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。其緊湊的設計使其是許多應用的理想工具,例如:光纖對準、雙光子聚合和激光寫入應用等。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響,并且PK3L80-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng),PK3L80-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結合使用。壓電掃描臺是為了滿足超精密定位應用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅動,以柔性鉸鏈為導向使其結構緊湊、具有無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。
PK3L80-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應用。
本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關型號介紹。
產(chǎn)品特性
—XYZ位移:80μm(閉環(huán))
—中孔尺寸:45x45mm
—承載能力:0.6Kg
—緊湊型設計
—高精度柔性導向
選配功能
—可定制轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇中心孔徑大小
應用領域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測量、測量技術
【商家簡介】上海納動納米位移技術有限公司(簡稱納動納米、NanoMotions),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的高新技術企業(yè),專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等高端設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著創(chuàng)新引領,立足高端,精益打造納米定位與運動控制中國制...
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