薄膜電容器的容量大小取決于薄膜金屬層面積的大小，所以容量的下降主要就是金屬鍍層受外界因素影響，面積減少而產生的。在電容器制作過程中，膜層之間存在微量的空氣，且較難完全消除。電容器工作時，空氣在電場作用下，有可能被電離。空氣電離后產生臭氧，臭氧是一種不穩定的氣體，常溫下自行分解為氧，是一種強氧化劑，低濃度下可瞬間完成氧化作用。金屬化薄膜的金屬鍍層（成份為Zn/Al）遇到臭氧分解的氧后立即氧化，生成透明不導電的金屬氧化物ZnO和Al2O3，實際表現為板面積減小，電容器容量下降。因此消除或減少膜層間的空氣，可以減緩電容量衰減。當膜層間的空氣被外界水份侵入時，空氣的擊穿電位會降低，加快空氣電離，產生大量的臭氧，氧化金屬化薄膜的金屬鍍層，電容器的容量會迅速下降。
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