英國Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上著名的臥式擴散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD爐的制造商，在全球各處的半導(dǎo)體制造廠里都有大量的安裝應(yīng)用，迄今為止安裝記錄已超過20000管。

Thermco專為科研客戶對于占地面積小、消耗低而設(shè)計了高可靠性和穩(wěn)定性的260X型擴散爐、氧化爐和LPCVD。

 

 產(chǎn)品應(yīng)用

標準半導(dǎo)體工藝

·LPCVD氮化硅（標準型)

·LPCVD氮化硅（低應(yīng)力型）

·LPCVD斜坡溫度多晶硅
·LPCVD一致晶粒多晶硅
·LPCVD氧化層TEOS（正硅酸乙脂）
·LPCVD VLTO（低溫氧化）
·LPCVD BPSG（硼磷硅玻璃）
· 高溫氧化

· 干法氧化

· 濕法氧化

· 摻雜擴散 （3-4路液相摻雜管路 ( POCL3 or BBR3)）

· 5-6路TCA或Hcl氣路

· 混合氣體退火
· 高溫?zé)峄鼗?span>
· 低溫退火和合金化

· 高溫驅(qū)入（Drive in）

 

標準LED工藝

·高真空退火（環(huán)境可控）

·低溫合金化/退火

 

標準PV（太陽能）工藝

·濕氧/干氧

·PN結(jié)驅(qū)入

·Forming氣體退火

·氫氣退火

·低溫?zé)崽幚?/p>

·POCl3，BBr3 PN結(jié)和槽

·反射氮化膜（ARC Nitride coating）

 

標準MEMS（微機電）工藝

·低應(yīng)力CVD氮化物

·氧氮化物SIPOS

·厚氧

·TEOS，良好的臺階覆蓋能力

·多晶硅和摻雜多晶硅

 

 

【商家簡介】北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司2001年成立于北京，主要是致力于半導(dǎo)體電子產(chǎn)品制造及測試設(shè)備、真空產(chǎn)品等業(yè)務(wù)，為廣大的中國客戶提供國際上先進的產(chǎn)品和服務(wù)。公司的經(jīng)營哲學(xué)為：依靠經(jīng)驗豐富的專業(yè)團隊，為中國市場提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)及技術(shù)支援，全力維護與客戶及供應(yīng)商的長期合作伙伴關(guān)系。主要產(chǎn)品：1）英國Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力測試機（鍵合力測試儀、拉力剪切力測試儀）2）德國YXLON公司（原Feinfocus）X光無損檢測系統(tǒng)/3D CT X光無損檢測系統(tǒng)（型號：Y.CO... 【溫馨提示】以上是北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司供應(yīng)的其他電子制造設(shè)備--擴散爐LPCVD-英國Thermco公司科研型高溫氧化爐擴散爐LPCVD的詳細信息，歡迎您在驛路商務(wù)查看其他電子制造設(shè)備的新的價格、廠家、型號、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負責(zé)，"驛路商務(wù)"對此不承擔任何保證責(zé)任。同時鄭重提醒各位買/賣家，交易前請詳細核實對方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹防上當受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請積極舉報。[我要舉報]

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