英國Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上著名的臥式擴散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD爐的制造商，在全球各處的半導體制造廠里都有大量的安裝應用，迄今為止安裝記錄已超過20000管。

Thermco專為科研客戶對于占地面積小、消耗低而設計了高可靠性和穩定性的260X型擴散爐、氧化爐和LPCVD。

 

 產品應用

標準半導體工藝

·LPCVD氮化硅（標準型)

·LPCVD氮化硅（低應力型）

·LPCVD斜坡溫度多晶硅
·LPCVD一致晶粒多晶硅
·LPCVD氧化層TEOS（正硅酸乙脂）
·LPCVD VLTO（低溫氧化）
·LPCVD BPSG（硼磷硅玻璃）
· 高溫氧化

· 干法氧化

· 濕法氧化

· 摻雜擴散 （3-4路液相摻雜管路 ( POCL3 or BBR3)）

· 5-6路TCA或Hcl氣路

· 混合氣體退火
· 高溫熱回火
· 低溫退火和合金化

· 高溫驅入（Drive in）

 

標準LED工藝

·高真空退火（環境可控）

·低溫合金化/退火

 

標準PV（太陽能）工藝

·濕氧/干氧

·PN結驅入

·Forming氣體退火

·氫氣退火

·低溫熱處理

·POCl3，BBr3 PN結和槽

·反射氮化膜（ARC Nitride coating）

 

標準MEMS（微機電）工藝

·低應力CVD氮化物

·氧氮化物SIPOS

·厚氧

·TEOS，良好的臺階覆蓋能力

·多晶硅和摻雜多晶硅

 

 

【商家簡介】北京創世杰科技發展有限公司2001年成立于北京，主要是致力于半導體電子產品制造及測試設備、真空產品等業務，為廣大的中國客戶提供國際上先進的產品和服務。公司的經營哲學為：依靠經驗豐富的專業團隊，為中國市場提供優質的產品服務及技術支援，全力維護與客戶及供應商的長期合作伙伴關系。主要產品：1）英國Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力測試機（鍵合力測試儀、拉力剪切力測試儀）2）德國YXLON公司（原Feinfocus）X光無損檢測系統/3D CT X光無損檢測系統（型號：Y.CO... 【溫馨提示】以上是北京創世杰科技發展有限公司供應的其他電子制造設備--擴散爐LPCVD-英國Thermco公司科研型高溫氧化爐擴散爐LPCVD的詳細信息，歡迎您在驛路商務查看其他電子制造設備的新的價格、廠家、型號、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布企業負責，"驛路商務"對此不承擔任何保證責任。同時鄭重提醒各位買/賣家，交易前請詳細核實對方身份，切勿隨意打款或發貨，謹防上當受騙。如發現虛假信息，請積極舉報。[我要舉報]

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