產(chǎn)品描述
PKVL150-080U為超薄型大孔徑利用精密并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)通過FEA優(yōu)化的精密彎曲來確保高剛度和較長(zhǎng)的設(shè)備壽命。
PKVL150-080U掃描臺(tái)可提供很好的性能。超高的剛度和動(dòng)態(tài)使用頻率，可實(shí)現(xiàn)高精度和快速的閉環(huán)響應(yīng)。
低外形設(shè)計(jì)用于實(shí)現(xiàn)設(shè)備間的簡(jiǎn)易集成。并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的多軸精度。
通孔尺寸為100x100mm可與顯微鏡電動(dòng)平臺(tái)組合實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)行程，進(jìn)行緊密操作。壓電掃描臺(tái)的移動(dòng)面可安裝光學(xué)鏡面，進(jìn)行移相計(jì)量干涉操作。
PKVL150-080U壓電平臺(tái)可定制轉(zhuǎn)接板與面包板光學(xué)平臺(tái)上進(jìn)行固定。壓電平臺(tái)可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。
產(chǎn)品特性
—Z位移：80μm（閉環(huán)）
—中孔尺寸：100x100mm
—承載能力：1Kg
—緊湊型設(shè)計(jì)
—高精度柔性導(dǎo)向
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇θxθy軸版本
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)
【溫馨提示】以上是上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司供應(yīng)的電子行業(yè)認(rèn)證--壓電納米定位控制系統(tǒng)-Z軸壓電陶瓷掃描臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司的詳細(xì)信息，歡迎您在驛路商務(wù)查看電子行業(yè)認(rèn)證的新的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，"驛路商務(wù)"對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。同時(shí)鄭重提醒各位買/賣家，交易前請(qǐng)?jiān)敿?xì)核實(shí)對(duì)方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請(qǐng)積極舉報(bào)。[我要舉報(bào)]
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